{"name":"한국나노기술원_나노소자팹 장비별 적용 가능한 기판 정보","alternateName":"한국나노기술원_나노소자팹 장비별 적용 가능한 기판 정보_20240826","description":"한국나노기술원에서 제공하는 나노소자팹 장비별 적용 가능한 기판 정보입니다.(장비명, 적용가능한 기판 종류, 사이즈, 기판유형, 기판 두께 등) * 장비 상세 정보 : 한국나노기술원_나노소자팹서비스 및 연구공정장비 정보(https://www.data.go.kr/data/15037530/fileData.do)에서 확인 가능합니다.","url":"https://www.data.go.kr/data/15088740/fileData.do","keywords":"화학공학,나노화학공정기술,나노소자","license":"이용허락범위 제한 없음","dateCreated":"2024-08-26","dateModified":"2024-08-26","datePublished":"2024-08-26","creator":{"name":"한국나노기술원","contactPoint":{"contactType":"경영전략실","telephone":"031-546-6439","@type":"ContactPoint"},"@type":"Organization"},"additionalType":"과학기술 - 과학기술연구","datasetTimeInterval":"연간","encodingFormat":"CSV","legislation":"","@context":"https://schema.org","@type":"Dataset"}